Наноэлектроника
Борисенко В.Е., Воробьева А.И.
Учебное пособие составлено на основе курса лекций «Нанотехнология», читаемого студентам специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе.
Categories:
Volume:
ч. 2
Year:
2003
Language:
russian
Pages:
77
ISBN 10:
9854443086
ISBN 13:
9789854443089
File:
PDF, 1.89 MB
IPFS:
,
russian, 2003